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使用高分辨透射电子显微镜在室温台上通过电子束照射MoO3,制备钼及钼的亚氧化物钠米微粒,实验发现微米级MoO3颗粒强度为10^21e/cm^2.s的电子束照射下转变为纳米级亚氧化钼,经过电子束的进一步照射后,亚氧化钼转变为钼。这种现象可能是由于电子束的激发作用和通过撞击效应而使原子发生错排引起氧原子分离造成的。