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设计和制作了 InP/InGaAsP 单输入光波导,多输出光波导,和光栅的单片集成波长分离器件,文中给出了器件的设计参数,以及制作工艺,并给出了该器件的测试原理图。
InP系单片集成波长分离器件的设计和制作
【摘 要】
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设计和制作了 InP/InGaAsP 单输入光波导,多输出光波导,和光栅的单片集成波长分离器件,文中给出了器件的设计参数,以及制作工艺,并给出了该器件的测试原理图。
【机 构】
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绍兴文理学院物理系,中科院上海冶金研究所,中科院上海冶金研究所312000绍兴,200233上海
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1997年Z1期
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