重掺杂硅费米能级和少数载流子浓度的温度特性分析

来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jin_sarah
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费米能级和少数载流子浓度是硅半导体的重要物理参数,它们与半导体掺杂杂质种类、掺杂浓度和温度都密切相关,至今尚未有一统一的数学模型,特别是在杂质重掺杂各件下进行定量的计算。本文考虑了重掺杂引起的禁带变窄效应,建立了从77K到300K广为适应的数学模型,着重分析了重掺杂条件下它们的温度特性,获得的计算结果与文献数据较好吻合,这为低温半导体器的设计提供了有益的理论基础。
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