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本文报道了一种形成ＳＩＭＯＸ结构的等离子体当浸没离子注入的新技术，与传统的离子注入相比，这种新技术具有高离子束流，大面积离子注入，极短的注入时间和低成本等优点。实验中，衬底硅片浸没在高离子密度的氧的等离子体中，在衬度所加的负高压的作用下，氧离子直接注入硅片中。
形成SIMOX结构的PIII新技术的研究
【摘 要】
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本文报道了一种形成ＳＩＭＯＸ结构的等离子体当浸没离子注入的新技术，与传统的离子注入相比，这种新技术具有高离子束流，大面积离子注入，极短的注入时间和低成本等优点。实验中，衬底硅片浸没
【机 构】
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香港城市大学物理和材料科学系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1995年8期
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