【摘 要】
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Ｎ~＋离子注入和退火后热生长ＳｉＯ_２层的干法和湿法腐蚀特性＝Ｄｒｙａｎｄｗｅｔｅｔｃｈｉｎｇｐｒｏｐｅｒ－ｔｉｅｓｏｆｔｈｅｒｍａｌｌｙｇｒｏｗｎｓｉｌｉｃｏｎｄｉｏｘｉｄｃｌａｙｅｒａｆｔｅｒ．Ｎ￣＋ｉｏｎｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎａｎｄａｎｎｅａｌ...
Dry-process and wet-etch characteristics of thermally grown SiO2 layers after N ~ + ion implantation and anne
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Ｎ~＋离子注入和退火后热生长ＳｉＯ_２层的干法和湿法腐蚀特性＝Ｄｒｙａｎｄｗｅｔｅｔｃｈｉｎｇｐｒｏｐｅｒ－ｔｉｅｓｏｆｔｈｅｒｍａｌｌｙｇｒｏｗｎｓｉｌｉｃｏｎｄｉｏｘｉｄｃｌａｙｅｒａｆｔｅｒ．Ｎ￣＋ｉｏｎｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎａｎｄａｎｎｅａｌ...
Dry-process and wet-etch characteristics of thermally grown SiO2 layers after N ~ + ion implantation and annealing = Dryandweatentownpropertiesofthermallygrownsilicondioxidclayerafter. N ~ + ionimplantationandanneal ...
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