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用透射电镜研究了稀土催渗离子渗氮层的微观结构。结果表明，稀土催渗可使γ＇相晶粒细化，晶界面缺陷增加；稀土的加入，增加了离子轰击效应，可使γ＇相内空位、位错环和堆垛层错等晶体缺陷的数量增加，可在表面０．０８ｍｍ厚度的扩散层铁素体内产生高密度位错。大量晶体缺陷的产生是稀土加速离子渗氮过程中氮扩散的主要原因。