固结磨料化学机械研抛K9玻璃的材料去除机理

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:whynot2009
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采用失重法对固结磨料研抛K9玻璃材料去除过程中的机械与化学作用进行了分离,采用显微硬度方法分析了研抛液对K9玻璃工件表层硬度的影响.研究结果表明:研抛液能与K9玻璃发生化学反应并在其表面形成一层较基质材料软的变质层,变质层厚度随浸泡时间的延长而增加;单纯研抛液的化学作用对K9玻璃的材料去除作用有限,固结磨料研抛垫对K9玻璃的机械去除作用主要以脆性去除为主,化学与机械的交互作用是K9玻璃影响材料去除的主要方式;当研抛盘转速为200 r/min时,化学作用与机械作用达到平衡,交互作用最为强烈,材料去除率达到最大值. The mechanical and chemical effects during the removal process of the K9-based glass were studied by using the weight loss method. The effects of the slurry on the surface hardness of the K9 glass were analyzed by using the microhardness method. The results show that: Can react chemically with K9 glass and form a soft degenerated layer on the surface of the K9 glass. The thickness of the degenerated layer increases with the immersion time. The chemical action of pure polishing slurry has a limited effect on removing K9 glass, The mechanical removal of K9 glass by abrasive-pad is mainly caused by brittle removal, and the interaction of chemical and mechanical is the main way that K9 glass affects the material removal. When the rotational speed of polishing disc is 200 r / min, the chemical interaction and mechanical The role of balance, the most intensive interaction, material removal rate reached its maximum.
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