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给出基于变形反射镜的结构设计，提出了一种新型大有效面积的连续变形反射镜的结构，采用在反射镜面后面加小型台柱，减小反射镜面和驱动电极间的距离，从而使系统的驱动电压大大降低．并结合理论分析和ANSYS有限元模拟结果，确定了最终的结构参数．
一种新的Mems变形反射镜结构设计的研究
【摘 要】
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给出基于变形反射镜的结构设计，提出了一种新型大有效面积的连续变形反射镜的结构，采用在反射镜面后面加小型台柱，减小反射镜面和驱动电极间的距离，从而使系统的驱动电压大大降低
【机 构】
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湖南理工学院物理与电子学院
【出 处】
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湖南理工学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2014年4期
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