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针对光刻机媒质远传温控系统的大惯性、多重时滞和多重扰动特点，采用理论建模与系统辨识相结合的建模方法，运用大系统解耦理论实现高阶模型的降阶分解，设计多态抗失真试验采集输出数据序列，采用系统辨识方法估计数学模型参数，建立分散时滞、扰动的温控系统动态数学模型。此模型已被成功运用于光刻机投影物镜高精度恒温控制系统中，达到了0．006℃的温度稳定度，并表现出较强的鲁棒性和自适应性。