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粘附是微机械中最常见的一种失效现象，一般的微机械结构都极力避免粘附的出现．表面张力是引起微结构粘附的最主要原因．深入研究了表面张力作用下使构件产生粘附的物理机理．以多晶硅微齿轮为例，考虑其在表面张力作用下发生的粘附现象，推导出表面张力作用下抗粘附多晶硅微齿轮结构参数设计公式．结果表明，微齿轮产生粘附与材料特性（弹性特性、表面特性）、微齿轮结构参数（半径、齿宽）、微齿轮与基体之间的间隙有关．