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在飞秒激光作用下,对损伤YAG单晶表面的形貌特征及其损伤阈值进行分析,对YAG单晶表面的临界电场阈值进行计算。采用光学显微镜、原子力显微镜及扫描电镜对飞秒激光损伤的YAG单晶表面的烧蚀坑形貌进行表征。研究表明：YAG单晶表面的烧蚀坑呈现周期表面结构,在130 fs脉宽、中心波长为800 nm、单脉冲能量在80-580μJ条件下,飞秒激光测试的YAG单晶的损伤阈值为4.24 J/cm2,计算获得了YAG单晶表面的电场临界阈值。