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MOPA(Master Oscillator&Power Amplifier)是采用双腔技术的准分子光源,它的成功量产将向光刻工厂提供前所未有的光谱带宽性能和输出功率,并大大降低成本,而且还适用于所有DUV曝光波长.
用于光刻成像技术中的双腔准分子光源
【摘 要】
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MOPA(Master Oscillator&Power Amplifier)是采用双腔技术的准分子光源,它的成功量产将向光刻工厂提供前所未有的光谱带宽性能和输出功率,并大大降低成本,而且还适用于所有DU
【机 构】
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美国加州圣地亚哥市 Ⅲ有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年2期
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