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分析了国内外超精密机床及其测量系统的发展，并在我国首次提出将双路双频激光测量系统用于超精密机床的在线测量，该系统具有采集速度快，结构紧凑，通用性好的特点，为超精密机床的研制奠定了基础。
超精密机床及其定位测量系统
【摘 要】
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分析了国内外超精密机床及其测量系统的发展，并在我国首次提出将双路双频激光测量系统用于超精密机床的在线测量，该系统具有采集速度快，结构紧凑，通用性好的特点，为超精密机床的研
【机 构】
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天津大学,哈尔滨工业
【出 处】
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西北工业大学学报
【发表日期】
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1995年2期
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