【摘 要】
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介绍了用杂交工艺制备铁电厚膜,这种新的制备技术结合了溶胶-凝胶湿化学方法与传统陶瓷制备工艺。并以可调的微波钛酸锶钡厚膜材料的制备与性能的表征为例,来阐述这种新工艺
【机 构】
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江苏省环境功能材料重点实验室,苏州科技学院数理学院
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介绍了用杂交工艺制备铁电厚膜,这种新的制备技术结合了溶胶-凝胶湿化学方法与传统陶瓷制备工艺。并以可调的微波钛酸锶钡厚膜材料的制备与性能的表征为例,来阐述这种新工艺。结果表明,采用这种创新的杂交工艺,沉积在硅和氧化铝基片上的钛酸锶钡厚膜,可以在低的热处理温度600～700℃成功获得。并且这种工艺可以灵活地制备厚度在几个到几十个微米的致密的、无裂纹和均匀的陶瓷厚膜,制备技术重复性好。厚膜的性能显示：在100 kHz,可轻易得到厚膜的介电损耗低于10-3,可调度为30%～50%之间。
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