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提出了用声光调制器实现的外差干涉仪，采用了相位变化整数周期和小数周期测量的外差干涉信号处理方法，不仅使干涉仪的测量分辨率提高到λ／２０００，同时提高了测量镜允许运动速度，解决了用于大动态范围位移的态动测量问题。该外差干涉测量系统可以用作精密数控中位置环的测量手段。
用于CNC位置环测量的外差激光干涉仪的研究
【摘 要】
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提出了用声光调制器实现的外差干涉仪，采用了相位变化整数周期和小数周期测量的外差干涉信号处理方法，不仅使干涉仪的测量分辨率提高到λ／２０００，同时提高了测量镜允许运动速度，解决了用于大动态范围位移的态动测量问题。该外差干涉测量系统可以用作精密数控中位置环的测量手段。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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机械工程学报
【发表日期】
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0年JXXB406.008期
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