【摘 要】
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针对显微系统具有高分辨率与高成像质量的要求,其系统一般片数多装调困难,导致系统存在实际的装调效果与设计结果之间难以匹配的问题,因此提出了小像差互补的方法对系统进行设计。首先,建立基于小像差互补设计方法的数学模型,然后将其编写为可用于控制ZEMAX软件的宏语言(ZPL),再对光学系统进行优化设计。最后以一红外显微光学系统为例,对比小像差互补设计方法使用前后的优化结果,对小像差互补设计方法进行了验证,
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室,吉林长春130022
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针对显微系统具有高分辨率与高成像质量的要求,其系统一般片数多装调困难,导致系统存在实际的装调效果与设计结果之间难以匹配的问题,因此提出了小像差互补的方法对系统进行设计。首先,建立基于小像差互补设计方法的数学模型,然后将其编写为可用于控制ZEMAX软件的宏语言(ZPL),再对光学系统进行优化设计。最后以一红外显微光学系统为例,对比小像差互补设计方法使用前后的优化结果,对小像差互补设计方法进行了验证,发现应用小像差互补设计方法的光学系统,总体成像质量具有突出优势,各元件的公差敏感性明显降低,整体光学系统
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