【摘 要】
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很久以来,对于测量很小的尺寸变化,光学干涉法被认为是一种极为有效的方法。本文对利用双曝光干涉条纹密度测量法测量物体小角度转动的可能性进行了讨论。试验方法所用的光
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很久以来,对于测量很小的尺寸变化,光学干涉法被认为是一种极为有效的方法。本文对利用双曝光干涉条纹密度测量法测量物体小角度转动的可能性进行了讨论。试验方法所用的光路如图1所示。物体(详见图2)是一个精密的反射镜转动装置,一个已知宽度
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