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SOI波导与InGaAs/InP光电探测器的集成
SOI波导与InGaAs/InP光电探测器的集成
来源 :数字化用户 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yulong19841001
【摘 要】
:
相对成熟的技术可以制作出无源光学器件,高效光源以及高性能光的探测还需要使用到III~V半导体材料.基于此,本文首先分析了SOI和III~V族探测器的键合,然后研究了SOI波导和III~V族
【作 者】
:
曾启
【机 构】
:
410083,中南大学物理与电子学院 湖南 长沙
【出 处】
:
数字化用户
【发表日期】
:
2018年32期
【关键词】
:
SOI波导
光电探测器
键合技术
光耦合
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相对成熟的技术可以制作出无源光学器件,高效光源以及高性能光的探测还需要使用到III~V半导体材料.基于此,本文首先分析了SOI和III~V族探测器的键合,然后研究了SOI波导和III~V族探测器的耦合.
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