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以正硅酸四乙酯（TEOS）、水为原料,乙醇（EtOH）为溶剂,盐酸（HCl）为催化剂,N,N-二甲基甲酰胺（DMF）为添加剂,用溶胶-凝胶法在Al2O3基体上制备了SiO2无机膜。考察了提拉速度、溶胶浓度以及涂膜方式对膜性能的影响。结果表明采用6 cm/min的提拉速度可以得到较好的涂层;较大的醇硅比虽然涂膜周期较长,但膜的综合性能较好;此外采用浓稀交替的涂膜方式也可以提高膜性能。