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<正>在硅片上集成微形阀门和流量传感器有许多优点.例如,可忽略的死区、流量传感器的快速响应和小尺寸.一个集成的流量控制器,其有正常的常开微形阀门和微形流量传感器,响应速度达10毫秒~1.将一个常闭的微形阀门、一个三通阀门和微形流量传感器制备在硅片上,便可作为一高级的集成微形流量控制系统.
集成微型流量控制系统（特邀报告）
【摘 要】
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<正>在硅片上集成微形阀门和流量传感器有许多优点.例如,可忽略的死区、流量传感器的快速响应和小尺寸.一个集成的流量控制器,其有正常的常开微形阀门和微形流量传感器,响应
【机 构】
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TohokuUniversity,Sendai
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1990年3期
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