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介绍一种新颖拖动分子泵，其抽速达到传统拖动分子泵的３０倍左右，达到了涡轮分子泵的水平。该泵高压强（１－１００Ｐａ）性能明显优于涡轮分子泵。泵的结构则简单得多。
双拖动分子泵
【摘 要】
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介绍一种新颖拖动分子泵，其抽速达到传统拖动分子泵的３０倍左右，达到了涡轮分子泵的水平。该泵高压强（１－１００Ｐａ）性能明显优于涡轮分子泵。泵的结构则简单得多。
【机 构】
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深圳大学应用物理系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1996年2期
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