【摘 要】
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本文设计了MOCVD自动控制电路,该电路既能手动控制又能采用计算机进行自动控制.将该电路应用于MOCVD系统,成功制备出TiO2纳米级超细粉,在500℃~1000℃范围内,超细粉的平均晶粒尺寸为74~152nm.
This text has
【机 构】
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中国科学院上海冶金所,西安交通大学
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本文设计了MOCVD自动控制电路,该电路既能手动控制又能采用计算机进行自动控制.将该电路应用于MOCVD系统,成功制备出TiO2纳米级超细粉,在500℃~1000℃范围内,超细粉的平均晶粒尺寸为74~152nm.
This text has designed MOCVD automatic control circuit, this circuit can not only control manually but also use the computer to carry on automatic control. The circuit was applied to MOCVD system, successfully prepared TiO2 nanometer ultrafine powder, in the range of 500 ℃ ~ 1000 ℃, the average grain size of ultrafine powder is 74 ~ 15 2nm.
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