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本文介绍了气相等离子刻蚀终点监控的几种方法,并着重讨论了光学发射光谱法在终点动态监控中的应用。
气相等离子刻蚀终点动态监控技术
【摘 要】
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本文介绍了气相等离子刻蚀终点监控的几种方法,并着重讨论了光学发射光谱法在终点动态监控中的应用。
【机 构】
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上海光学仪器研究所,上海光学仪器研究所
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1989年5期
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