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产生低温等离子体的方法通常可分成电晕放电、辉光放电和射流三种，其间产生等离子体介质的气压大小是这三种方法显著的区别。辉光放电处理是属于低压等离子体技术，辉光放电中的游离电子、游离基、离子、紫外光以及不同气体所产生的许多不同的激活粒子，可以产生各种活化反应，完全取决于工艺条件。本文主要就低温等离子体技术中辉光放电在棉、涤棉、羊毛、蚕丝等织物染整生产中应用的可能性，作比较详细的介绍。