【摘 要】
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本文从Abbe——Porter的显微镜成象理论和实验基础出发,研究了几种具有不同衬度、不同间距且厚度小于1微米的点阵栅网标样。它能够在生产和使用现场对各种透射、反射、相衬或
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本文从Abbe——Porter的显微镜成象理论和实验基础出发,研究了几种具有不同衬度、不同间距且厚度小于1微米的点阵栅网标样。它能够在生产和使用现场对各种透射、反射、相衬或平场物镜的分辨率、放大率、象差和清晰范围进行定量化测试。其方法简便快速,不需复杂的仪器装置和熟练的操作技术,並且可使高斯光学与付氏光学结合起来对象质进行分析研究。
Based on Abbe - Porter ’s microscope imaging theory and experimental basis, several kinds of grid samples with different contrasts and different pitches and thicknesses of less than 1 micron were studied. It quantifies the resolution, magnification, aberrations and sharpness of a wide range of transmission, reflection, phase contrast or field objectives at production and on-site. The method is simple and fast, does not require complicated instrumentation and skilled operation techniques, and can make Gaussian optics and Fu’s optics combine to analyze the quality of objects.
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