【摘 要】
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介绍长春光学精密机械与物理研究所进行的软X射线-真空紫外波段光谱光源研究工作. 研制成功的壁稳氩弧光源光谱辐射稳定性和重复性达±0.3%, 可作标准辐射源, 用于真空紫
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金，中国科学院知识创新工程项目
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介绍长春光学精密机械与物理研究所进行的软X射线-真空紫外波段光谱光源研究工作. 研制成功的壁稳氩弧光源光谱辐射稳定性和重复性达±0.3%, 可作标准辐射源, 用于真空紫外波段仪器光谱强度绝对辐射定标. 研制成功的潘宁(Penning)光源、双等离子体光源和空心阴极光源, 可以覆盖从十几个nm至几十nm波段范围, 光谱辐射稳定性和重复性达±1.0%, 提供不同工作气体在该波段的原子和离子线谱, 用于光谱仪器的波长定标. 所研制的激光等离子体光源, 尤其是近期研制成功的无污染微液滴喷射靶激
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