原子发射光谱双谱线法测量半导体桥(SCB)等离子体温度(英文)

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在原子发射光谱双谱线法的基础上,设计了含有两个干涉滤光片和光电倍增管双谱线测温系统。仪器的最高的时间分辨率为0.1μs。讨论了不同能量输入条件下SCB等离子体的温度和等离子体的存在时间。实验结果表明在电压24~32 V,电容68μF不变的情况下,等离子体的温度从2710 K升高到3880 K,等离子体存在时间从170.7μs上升到283.4μs。 Based on the double-line method of atomic emission spectroscopy, a dual-line temperature measurement system with two interference filters and a photomultiplier tube was designed. The highest time resolution of the instrument is 0.1μs. The temperature of SCB plasma and the existence time of plasma under different energy input conditions are discussed. The experimental results show that the plasma temperature rises from 2710 K to 3880 K at a voltage of 24-32 V with a capacitance of 68 μF, and the plasma presence time increases from 170.7 μs to 283.4 μs.
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