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报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光电探测器，采用选择性湿法刻蚀，制备出基于InP／空气隙的分布布拉格反射镜，并将该结构的反射镜引入RCE光电探测器，制备的器件在波长1．510μm处获得了约59％的峰值量子效率，以及8GHz的3dB响应带宽，其中器件的台面面积为50μm×50μm。
基于InP／空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器
【摘 要】
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报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光电探测器，采用选择性湿法刻蚀，制备出基于InP／空气隙的分布布拉格反射镜，并将该结构的反射镜引入RCE光电探测器，制备的器件在波长1．510μm处
【机 构】
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北京邮电大学光通信中心,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年2期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划 (编号 :2 0 0 2 AA3 12 2 9Z),,国家自然科学基金 (批准号 :90 2 0 10 3 5 )资助项目~~
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