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来源 :人工晶体学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
M .L .Cohcn和A .Y .Liu利用半经验公式和第一性原理计算表明 ,如果C和N能够结合成类似于 β Si3 N4结构的化合物 β C3 N4,由于C N的键长比C C的键长短和键的离子性小 ,它的
【作 者】
:
张永平
顾有松
常香荣
田中卓
时东霞
张秀芳
袁磊
【机 构】
:
北京科技大学材料物理系中国科学院北京真空物理实验室
【出 处】
:
人工晶体学报
【发表日期】
:
2000年S1期
【关键词】
:
C_3N_4膜
微波等离子体化学气相沉积法
弹性模型
C 3N 4 film MPCVD method elastic modulus of computer
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