【摘 要】
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采用离子注入和快速退火法可制备Ｓｉ浅ｐ－ｎ结阵列，通过真空清洁处理和铯氧激活后制成阵列式Ｓｉ浅ｐ－ｎ结雪崩冷阴极，其最高电子发射效率为１６％。本文介绍阵列式Ｓｉ雪崩冷阴极的制各方法，给出了Ｓｉ冷阴极的
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采用离子注入和快速退火法可制备Ｓｉ浅ｐ－ｎ结阵列，通过真空清洁处理和铯氧激活后制成阵列式Ｓｉ浅ｐ－ｎ结雪崩冷阴极，其最高电子发射效率为１６％。本文介绍阵列式Ｓｉ雪崩冷阴极的制各方法，给出了Ｓｉ冷阴极的雪崩电子发射特性，讨论了影响发射稳定性的主要因素。
The Si shallow p-n junction array can be prepared by ion implantation and rapid annealing. The arrayed Si shallow p-n junction avalanche cold cathode made by vacuum cleaning and cesium oxygen activation has the highest electron emission efficiency of 16%. In this paper, the fabrication method of arrayed avalanche cold cathode is introduced, the avalanche electron emission characteristics of Si cold cathode are given, and the main factors affecting the emission stability are discussed.
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