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来源 :光机电信息 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
<正>“长波长软X射线多层膜的设计与制备”这篇论文介绍了用离子束溅射法制备长波长软X射线多层膜的研究工作,并报道了一种新的材料组合C/Si用于28.4nm(43. 65eV)和30.4nm(40
【作 者】
:
王国田
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
:
光机电信息
【发表日期】
:
2000年4期
【关键词】
:
长波长软X射线多层膜
设计
制备
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