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利用溶胶-凝胶法,以氟化铵（NH4F）作掺氟源,使氟离子参与水解和聚合反应,经过热处理制成掺氟石英玻璃。在烧结时通入氟里昂（CCl2F2）进一步提高玻璃中氟重量含量直至2.50%。研究得出石英玻璃中氟含量与折射率、密度呈线性关系。氟有利于凝胶玻璃成块。用Raman和红外光谱研究掺氟石英玻璃结构,提出了氟进入玻璃网络的结构模型,并认为氟在玻璃中的存在状态为[SiO3F]。