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本文以精密圆刻划机为例，用机械动力学理论分析了误差均匀化效应的原理及作用机制，为机械设计及误差分析提供了理论依据。
误差均匀化效应的机理分析
【摘 要】
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本文以精密圆刻划机为例，用机械动力学理论分析了误差均匀化效应的原理及作用机制，为机械设计及误差分析提供了理论依据。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1997年3期
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