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化学气相沉积法制备GaN纳米结构设计性实验
化学气相沉积法制备GaN纳米结构设计性实验
来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:June_misu
【摘 要】
:
在无催化剂辅助条件下,采用化学气相沉积法生长了GaN纳米线.通过调整衬底、NH3气流、生长时间等,实现了半导体GaN纳米线的生长以及形貌调控.用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对
【作 者】
:
孙言飞
杨玮
简基康
【机 构】
:
新疆大学物理科学与技术学院
【出 处】
:
物理实验
【发表日期】
:
2011年2期
【关键词】
:
GAN
纳米线
化学气相沉积法
GaN nanowires chemical vapor deposition
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在无催化剂辅助条件下,采用化学气相沉积法生长了GaN纳米线.通过调整衬底、NH3气流、生长时间等,实现了半导体GaN纳米线的生长以及形貌调控.用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对产物的物相及形貌进行了表征.获得了合成GaN纳米线的优化条件.
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