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详述了采用微机对等离子体化学气相沉积系统气路进行控制改造中的一些关键性技术。改进后的设备各路气源气体在沉积过程中可自动控制，并用改进后的设备采用逐层生长法制备了纳米硅薄膜。
等离子体化学气相沉积系统气路的微机控制
【摘 要】
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详述了采用微机对等离子体化学气相沉积系统气路进行控制改造中的一些关键性技术。改进后的设备各路气源气体在沉积过程中可自动控制，并用改进后的设备采用逐层生长法制备了纳
【机 构】
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山东建材学院
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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1996年5期
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