【摘 要】
：
针对超光滑平面蓝宝石衬底片存在亚表层损伤的问题,文中利用磁流变抛光技术进行蓝宝石衬底片抛光以满足现有生产需要,研究了磁流变抛光中抛光压力、抛光盘转速、工件盘转速及
【基金项目】
：
陕西省科技厅重点研发计划项目(2017ZDXM-GY-122);陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(16JS039)
论文部分内容阅读
针对超光滑平面蓝宝石衬底片存在亚表层损伤的问题,文中利用磁流变抛光技术进行蓝宝石衬底片抛光以满足现有生产需要,研究了磁流变抛光中抛光压力、抛光盘转速、工件盘转速及抛光液温度等工艺参数对C向蓝宝石衬底片表面粗糙度和去除率的影响。采用正交实验方法获得了一组最佳工艺参数为:抛光压力为25kg,抛光盘转速为40r·min^-1,工件盘转速为20r·min^-1,抛光液温度为38℃。研究结果表明:蓝宝石抛光后最优表面粗糙度Ra为0.31nm,去除率达到2.68μm·h^-1。
其他文献
老年人的膳食指南应该是遵循一般膳食指南的基本原则，并根据老年人的生理特点和特殊需要而制订。我国近十多年来，经济发展迅速，人民生活改善、膳食构成和疾病模式变化都十分明显
根据喀什经济开发区科技创新发展规划，喀什经济开发区力争到2015年引进孵化科技型企业100家以上，培育申报一批国家级高新技术企业，高新技术产业产值占总产值比重达到5％，高新技术企
汇聚学科队伍是重点学科建设的根本任务之一。在重点学科建设中,人是最重要的因素,也是最活跃的因素,如何汇聚队伍,汇聚什么样的队伍,如何调动队伍的积极性,是学科建设必须认
目的分析直肠类癌的临床特征。方法回顾性分析1994年1月至2009年10月收治的45例直肠类癌患者的诊断方法、治疗方式及生物学特性。结果本组直肠类癌患者：直肠指检＋肠镜＋活检正确
目的:探索芒刺秩边透水道为主治疗术后尿潴留的疗效.方法:毫针针刺秩边穴,并向水道方向缓缓透刺,得气后辨证施用轻、中、重3种不同刺激量的提插捻转手法,使针感达到下腰部、
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
体育教学中的多元评价作为一种积极手段，能够及时诊断教学中出现的问题，总结得失，优化教学效果。基于体育教学评价体系发展现状，分析体育教学中多元评价体系对教师教学和学生学习
目的:研究β-胡萝卜素对四氯化碳诱导的实验性大鼠肝纤维化的影响及其机制.方法:SD大鼠随机分为4组.正常对照组:给橄榄油溶液1 ml/kg bw,9 w;四氯化碳对照组:给50% CCl4橄榄
电力技术的不断发展，使得电力企业在发展过程中出现了很多的问题，其中电能计量的准确性对电力企业的经济效益有很大的影响。电能计量装置是电力能源计量的主要设备和装置，同时也
我国低压供电系统广泛采用中性点不接地运行方式。单相漏电故障在低压系统中占有相当大的比重。所以研究漏电故障发生后漏电支路和非漏电支路零序电流对故障选线和故障测距具