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探讨了在线温度和提拉速度对溶胶-凝胶法制备的SiO2光学膜光学性质的影响,考察了热处理温度对SiO2光学膜表面散射率的影响。结果表明:用溶胶-凝胶法制成的SiO2光学膜随着在线温度的升高,膜的厚度呈线性减少,减少的速度为0.09nm/℃;室温下SiO2光学膜膜厚提拉速度呈指数增长,指数等于0.54;SiO2光学膜表面散射率随热处理温度的升高而增大,且在400℃左右有一个增大的突变点。