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SUSS MicroTec日前宣布，与位于北美的康奈尔大学纳米科学和技术设备（CNF）中心展开战略性合作。康奈尔大学的人员将使用包括加强型接触式光刻机和Gamma喷胶机在内的SUSS设备进行研发工作。
SUSSMicroTec在纳米研究方面与康奈尔大学展开合作
【摘 要】
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SUSS MicroTec日前宣布，与位于北美的康奈尔大学纳米科学和技术设备（CNF）中心展开战略性合作。康奈尔大学的人员将使用包括加强型接触式光刻机和Gamma喷胶机在内的SUSS设备进行
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2011年2期
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