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期刊论文
激光干涉仪在平面度检测中的应用
激光干涉仪在平面度检测中的应用
来源 :机电工程技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huangzhongyan22
【摘 要】
:
对岩石平板的平面度进行测量,采用激光干涉和电子水平仪为检测工具,用矩形法和对角线法分别测量平面度,通过对两种不同测量工具测量平面度的分析,比较两种工具优势特点,为平
【作 者】
:
钟赖
司卫征
郭文波
【机 构】
:
广州计量检测技术研究院
【出 处】
:
机电工程技术
【发表日期】
:
2015年10期
【关键词】
:
激光干涉仪
平面度
电子水平仪
高精度
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对岩石平板的平面度进行测量,采用激光干涉和电子水平仪为检测工具,用矩形法和对角线法分别测量平面度,通过对两种不同测量工具测量平面度的分析,比较两种工具优势特点,为平面度检测提供测量依据。实验表明,采用双频激光干涉仪测量平面度,具有直观、高精度的测量优势。
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