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来源 :功能材料 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
为了制备高性能BST薄膜,采用改进的溶胶-凝胶(solge1)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了不同结构、不同组成的BST薄膜;研究了BST薄膜的微观结构及其介电、铁电性能.XRD分析
【作 者】
:
姜胜林
曾亦可
刘少波
刘梅冬
【机 构】
:
华中科技大学,中国科学院电工研究所
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
2004年3期
【关键词】
:
改进sol-gel方法
BST薄膜
电性能
modified sol-gel process
BST thin films
electrical propert
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