Pt／Pt（111）薄膜生长的计算机模拟研究

• 作 者: 庄国策 朱晓斌 王炜
• 机 构: 南京大学物理系
• 出 处: 南京大学学报(自然科学版)
• 发表日期: 2001年4期
• 关键词: 表面形貌 原子扩散 最近邻配位数 沉积速率 铂 薄膜生长 计算机模拟 surface morphology atomic diffusion the nea

以Pt/Pt(111)薄膜生长为例,建立一个包含更为细致的原子扩散过程的模型,采用蒙特卡洛模拟方法研究了不同覆盖率,不同温度下(111)面上外延生长早期阶段的原子聚集行为,得到了一系列分形状薄膜的形貌.计算表明,用来描述枝杆平均宽度的原子的平均最近邻配位数随温度的升高而增加,与扫描隧道电镜实验测量的结果一致.同时,还研究了原子沉积过程中沉积速率的大小对薄膜生长的影响.