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用麦克斯韦方程，推导了射频磁控溅射靶磁场的数学表达式，并研究了靶磁场的三维分布规律，得到了磁控靶的磁场在中心圆环有较强的水平分量，边缘有较强的垂直分量的结果，计算结果与实验结果相符。
磁控溅射靶磁场的分布
【摘 要】
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用麦克斯韦方程，推导了射频磁控溅射靶磁场的数学表达式，并研究了靶磁场的三维分布规律，得到了磁控靶的磁场在中心圆环有较强的水平分量，边缘有较强的垂直分量的结果，计算结果与实
【机 构】
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固体电子学系
【出 处】
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华中理工大学学报
【发表日期】
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1997年11期
【基金项目】
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国防科工委八五预研项目
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