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安捷伦科技（AgilentTechnologies）日前宣布与史丹佛大学合作进行一项研究计划。目的是要结合扫描式探针显微镜（scanning probe microscope，SPM）与原子层沉积（atomic layer deposition，ALD）技术．来探索新型的奈米部件。这项研究计划将有助于快速制作出奈米部件的原型并量测其特性，就10nm以下的精细度而言是一大突破，可进行广泛的应用。