【摘 要】
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微机电一体化谢国章（常州市劳动新村南８５栋乙－３０１室邮编２１３００１）一、概述六十年代初，随着微电子技术的迅速发展，电子系统出现了如下矛盾：与集成电路接口的机械装置、包括各种传感器和传动装置等
【机 构】
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常州市劳动新村南８５栋乙－３０１室
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微机电一体化谢国章（常州市劳动新村南８５栋乙－３０１室邮编２１３００１）一、概述六十年代初，随着微电子技术的迅速发展，电子系统出现了如下矛盾：与集成电路接口的机械装置、包括各种传感器和传动装置等，其体积较大，与微小得多的集成电路工作难以达到最佳配合，...
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