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【摘 要】
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室温下利用磁控溅射在p型Si(111)衬底上沉积了Cu薄膜.利用X射线衍射和卢瑟福背散射分别对未退火以及在不同温度点退火后样品的结构进行了表征.在此基础上,研究了Cu/SiO2/Si(1
【机 构】
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兰州大学物理科学与技术学院,兰州大学物理科学与技术学院,兰州大学物理科学与技术学院,兰州大学物理科学与技术学院 兰州730000,兰州730000,兰州730000,兰州730000
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2006年12期
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