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将Zr^2+注入单晶Cu中，注入能量为60keV，注入剂量分别为5×10^16,1×10^17,2×10^17ion/cm^2,TEM分析表明，在单晶Cu中形成弥散相Cu5Zr和CuZr，该相与原始单晶Cu的晶面有共格关系，且弥散相Cu5Zr和CuZr随注入剂量的增加而增多，变大，Zr^2+注入后样品表面硬度有所提高。