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材料表面抗氧化涂层的质量是限制碳/碳复合材料作为高温结构材料使用的关键。本文运用人工神经网络技术建立了CVD-SiC涂层制备工艺的过程模型,以解决该过程影响因素众多,相互作用关系复杂,难以对制备过程进行有效的预测和控制的问题。研究结果表明:所建立的神经网络模型,可以比较准确和全面地反映各工艺因素对SiC-CVD过程的影响大小及内在规律;模型对工艺参数与沉积速率之间关系的预测与实验结果相吻合;证实了