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为研制具有沟道衬底的单模激光器，讨论了Ｈ２ＳＯ４－Ｈ２Ｏ２－Ｈ２Ｏ对ＧａＡｓ晶片的择优腐蚀。实验证明，使用Ｈ２ＳＯ４：Ｈ２Ｏ２：Ｈ２Ｏ＝１：８：８腐蚀液，在ＧａＡｓ（１００）面上沿［０１１］和［０１１］方向开槽分别获得燕尾槽和Ｖ型槽衬底，满足了器件设计的要求。
H2SO4—H2O2—H2O对GaAs晶片的择优腐蚀
【摘 要】
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为研制具有沟道衬底的单模激光器，讨论了Ｈ２ＳＯ４－Ｈ２Ｏ２－Ｈ２Ｏ对ＧａＡｓ晶片的择优腐蚀。实验证明，使用Ｈ２ＳＯ４：Ｈ２Ｏ２：Ｈ２Ｏ＝１：８：８腐蚀液，在ＧａＡｓ（１００）面上沿［０１１］和［０１１］方向开槽分别获得燕尾槽和Ｖ型槽衬底，满足了器件设计的要求。
【机 构】
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山东工业大学基础课教学部,山东工业大学基础课教学部
【出 处】
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山东工业大学学报
【发表日期】
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1993年4期
【基金项目】
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山东省科委项目,,国家教委资助
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