【摘 要】
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针对传统 FBAR(Film Buck Acoustic Resonator)制备困难、成品率低的问题,提出一种新型 FBAR结构(SU8-FBAR)。利用高分子聚合物材料SU8薄膜代替传统 FBAR的支撑层和声波限制
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(51575499).
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针对传统 FBAR(Film Buck Acoustic Resonator)制备困难、成品率低的问题,提出一种新型 FBAR结构(SU8-FBAR)。利用高分子聚合物材料SU8薄膜代替传统 FBAR的支撑层和声波限制结构,增加了FBAR器件的机械强度,且易于制备,成品率较高。采用 AlN作压电薄膜,分别以Mo、Pt、CNT、Al作为电极,利用Comsol Multiphysics仿真软件对 SU8-FBAR的结构参数进行仿真优化。结果显示,当电极材料为CNT、上电极厚度为0.1μm、SU8薄膜厚度为 5
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