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利用有限元仿真分析方法,模拟不同特征应力集中区域(SCR)对微悬臂梁测量性能的影响,得出微悬臂梁结构引入不同形式特征SCR后所产生的测量性能的变化规律,分析灵敏度与测量带宽及测量范围的取舍原则。对基于微悬臂梁的高灵敏度微传感器、制动器的设计与优化具有一定指导意义。
高灵敏度SCR微悬臂梁设计仿真
【摘 要】
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利用有限元仿真分析方法,模拟不同特征应力集中区域(SCR)对微悬臂梁测量性能的影响,得出微悬臂梁结构引入不同形式特征SCR后所产生的测量性能的变化规律,分析灵敏度与测量带宽及测量范围的取舍原则。对基于微悬臂梁的高灵敏度微传感器、制动器的设计与优化具有一定指导意义。
【机 构】
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军械工程学院,上海市计量测试研究院,中国科学院微电子所
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2013年01期
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